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高真空PECVD系统
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高真空PECVD系统
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19
发布时间
2020年09月08日
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江阴市创新膜结构工程有限公司
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经营模式: 贸易商
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产品概述:
诺泰高真空PECVD系统是由管式炉,真空系统、供气系统、射频电源系统等组成。系统主要应用于金属薄膜,陶瓷薄膜等,复合薄膜,石墨烯等生长。PECVD系统增加功能容易,可扩展等离子清洗刻蚀等功能,PECVD系统薄膜沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高等优点。
高真空PECVD系统主要特点:
1.通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
2.PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。